9月18日|張江高科、同飛股份、海立股份競價漲停,富樂德、藍英裝備漲超10%,東方嘉盛、國林科技、京華激光、凱美特氣。波長光電等漲超5%。消息面上,工信部印發《首台(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》。其中在電子專用裝備目錄下,集成電路生產裝備包括氟化氬GKJ,光源193納米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。